MICROLITOGRAFIA

Le lampade ad arco corto al mercurio (indicate con la loro sigla HBO) con un consumo energetico compreso tra 200 W e 8.000 W sono utilizzate principalmente come sorgente luminosa nella produzione di microchip, display a cristalli liquidi (LCD) e circuiti stampati (PCB) . Grazie all'intensa attività di ricerca e sviluppo svolta in collaborazione con i nostri clienti, le lampade OSRAM HBO offrono affidabilità e durata credibili, consentendo così molte nuove applicazioni per l'industria dei semiconduttori.

Lampade HBO per litografia ad esposizione UV di circuiti integrati:

- Utilizza la "i-line" dello spettro di emissione (365 nm) o l'emissione UV profonda (254 nm).

- Lunga durata con il minor degrado.

Lampade HBO per litografia ad esposizione UV di display flat panel e circuiti stampati:

- Emissione più luminosa nell'intervallo 350nm-450nm

- Progettato per modalità a potenza e/o intensità costante

Lampade HBO per l'esposizione UV di imballaggi, Mems, litografia LED:

- Utilizzato per allineatori di maschere, imballaggi avanzati, ispezione di wafer.