HBO Microlithography Lamps for ASML i-line Systems
Caratteristiche prodotto
- High spectral intensity with peak irradiance at 365nm wavelength, making it ideal for microlithography
- Designed for long lasting performance
- Designed for long lasting performance
- Qualified with ASML
Aree applicative
- Microlithography
Informazione sulla sicurezza
A causa della loro elevata luminanza, della radiazione UV e della forte pressione interna (quando sono calde), le lampade HBO possono essere utilizzate solo in involucri chiusi appositamente realizzati. Se la lampada si rompe, ne fuoriesce mercurio. È necessario adottare precauzioni di sicurezza specifiche. Ulteriori informazioni sono disponibili su richiesta o possono essere reperite nel leaflet fornito insieme alla lampada o nelle istruzioni per l'uso.
A causa della loro elevata luminanza, della radiazione UV e della forte pressione interna (quando sono calde), le lampade HBO possono essere utilizzate solo in involucri chiusi appositamente realizzati. Se la lampada si rompe, ne fuoriesce mercurio. È necessario adottare precauzioni di sicurezza specifiche. Ulteriori informazioni sono disponibili su richiesta o possono essere reperite nel leaflet fornito insieme alla lampada o nelle istruzioni per l'uso.
Maggiori informazioni per la famiglia di prodotto
HBO lamps > 200W are designed to meet the high demands of the Semiconductor industry. With peak intensity at 365nm these lamps are ideal for microlithography and are designed and qualified for specific equipment manufacturers.
Products
| Nome del prodotto |
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Scheda tecnica | ||
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HBO 1003 W/PIL
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1003 W | 27.1 V | 85,0 mm | 195.0 mm | ||
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HBO 1500 W/PIL
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1500 W | 23 V | 118,0 mm | 273.0 mm | ||
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HBO 2100 W/PIL
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2100 W | 24 V | 118,0 mm | 240.0 mm | ||
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HBO 2500 W/PIL
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2500 W | 28.0 V | 149,0 mm | 340.0 mm | ||
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HBO 3500 W/PIL
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3500 W | 23 V | 154,0 mm | 360.0 mm |